真空閥⾨技術 Vacuum Valve Technology：

真空夾盤內件閥⾨技術是⼀種將真空閥⾨集成在真空夾盤內部的技術，⽤於控制真空吸附和釋放的過程。這種技術廣泛應⽤於半導體產業、⼯業⾃動化設備、機械⼿臂夾持治具，實現對物體的穩定抓取和精確定位。

內部真空閥⾨ Internal Vacuum Valve：

真空夾盤內置的閥⾨可以快速啟動或關閉，以控制真空的產⽣或釋放。這樣的設計提⾼了系統的反應速度和效率，避免外部真空管道的延遲。真空氣源可以是真空產⽣器或真空泵浦，根據應⽤場景來選擇適當的驅動⽅式。

內部真空腔體不分區域分佈於真空孔⾯積範圍，在真空孔與腔體之間透過真空閥⾨結構，該閥⾨可⾃動判別真空夾盤上是否有無產品覆蓋，當真空孔被覆蓋時，閥⾨將開啟，讓氣體通過，當真空孔未被覆蓋時，閥⾨將關閉，防⽌氣體通過，因⽽達到邏輯判別功能。

真空夾盤內件閥⾨技術的優點：

1. 反應快速：

內置閥⾨能迅速切換真空狀態，縮短抓取和釋放的時間，提升整體系統的⼯作效率。

2. 減少管路複雜度：

內件式的設計減少了外部管道的需求，降低了真空系統的設置複雜度，同時減少了維護成本。

3. 精確控制：

透過內置閥⾨與控制系統，能對吸附⼒進⾏精確調節，適合⽤於夾持形狀複雜或⼤⾯積鏤空不均的產品。

密封系統 Sealing System：

⾼效的密封系統能確保真空環境在長時間操作過程中穩定，密封材料通常需要根據不同的⼯業需求選擇耐熱、耐磨或抗化學腐蝕的材料。

真空夾盤內件閥⾨技術的應⽤ Application：

1. 半導體產業：

在晶圓製程中常因翹曲問題，造成產品良率降低，利⽤真 空閥⾨技術可將晶圓、PCB、銅箔、鋁箔完美吸附且不會 產⽣吸痕，並可將夾盤表⾯加ESD抗靜電鍍膜。

2. ⾃動化⽣產線：

在⾃動化流⽔線中，真空夾盤可以迅速抓取和釋放不同形狀的產品，內置閥⾨能根據每個產品的需求進⾏真空調節，提升⽣產效率。

3. 機械⼿臂：

真空夾盤與機械⼿臂配合使⽤時，內件閥⾨技術可以確保物體被牢固吸附，並在需要時快速釋放，實現⾼效的搬運和組裝操作。

有家科技提供真空夾盤內件閥⾨技術透過壓差技術，將結構整合於夾盤內，提供了更快速、精確、且可靠的解決⽅案，適合各種⾼效率、⾼精度的半導體製程應⽤場景。